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超精密三軸平臺

設備信息 FEATURES

設備參數 PARAMETER

技術指標 數據
行程(mm) X軸:200 Y軸：100
最大負載（kg） X軸:30 Y軸：20
定位精度(um) X軸:±0.35 Y軸：±0.35
雙向重復定位精度(um) X軸:±0.2 Y軸：±0.2
直線度(um) X軸:±2.5 Y軸：±2
平面度(um) X軸:±2.5 Y軸：±2
正交性(arc sec) X軸:10 Y軸：10
最大速度(mm/s) X軸:50 Y軸：50
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