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高精度氣浮單軸模組1

設(shè)備信息 FEATURES

設(shè)備參數(shù) PARAMETER

技術(shù)指標(biāo) 數(shù)據(jù)
負(fù)載（Kg） 30
最大速度（mm/s） 700
最大加速度（G） 1
有效行程（mm） 500
重復(fù)精度（μm） ±1
定位精度（μm） ±2
平面度（μm） ±1
直線度（μm） ±0.75
驅(qū)動(dòng)方式 直線電機(jī)
反饋方式 光柵尺
防塵方式 上蓋板
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