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高幾何精度大理石XY平臺

設備信息 FEATURES

設備參數 PARAMETER

技術指標 數據
負載（Kg） X軸：30 Y軸：X軸自重+30
最大速度（mm/s） X軸：1000 Y軸：300
最大加速度（G） X軸：2.5 Y軸：1
有效行程（mm） X軸：340 Y軸：430
重復精度（μm） X軸：±1 Y軸：±1
定位精度（μm） X軸：±2 Y軸：±2
平面度（μm） X軸：±1.5 Y軸：±1.5
直線度（μm） X軸：±1.5 Y軸：±1.5
驅動方式 X軸：直線電機 Y軸：直線電機
反饋方式 X軸：光柵尺 Y軸：光柵尺
防塵方式 X軸：3上蓋板 Y軸：側防塵帶+上蓋板
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